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东莞市上品机电设备有限公司

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微米技术及晶圆处理

 微米技术及晶圆处理

    在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。

行程200 mm x 200 mm 亦可选购 300 mm x 300 mm

全行程平面度±4μm

各轴重现性±1μm

各轴精度±4μm

洁净室等级100适用, 亦可选购等级10

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点击次数:  更新时间:2015-06-17
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