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下轴采用LMC系列线性马达使得AOI光学检测可以达到相当高的平滑运动及优良的取像；上轴利用LMS马达带动Z轴的螺杆及CCD镜头达到高速运动。
? 重现性±1μm
? 速度涟波小于1.5%
? 提供机台底座及护盖之整体解决方案
