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直线电机应用
直线电机应用
提供客户运动规划服务
另一AOI光学检测应用,客户需求要高性能价格比
? 534mm × 534mm^2行程
? 特殊龙门同动控制
? 钢材框架
? 集成线路板输送, PLC, IPC于客户端
? 次微米级重现性
水刀应用
LMS双动子线性马达提供2.5m的长行程带动两组HIWIN KK模块做上下Z轴运动。下面两轴也是采用LMS高推力线性马达做同步运动。
? 提供整体方案,即插即用
? 大行程
? 含底座,护盖及高阶运动控制器
客制玻璃加工机台
线性马达机台被设计用来承载加工激光头在平台上方移动,客户的加工激光头用来切割双层玻璃。
? 同动架构线性马达定位机台
?1300mm × 1450mm行程
? 平滑运动,正弦波整流, 无顿力
? 各轴重现性±2μm
AOI光学检测整体解决方案
下轴采用LMC系列线性马达使得AOI光学检测可以达到相当高的平滑运动及优良的取像;上轴利用LMS马达带动Z轴的螺杆及CCD镜头达到高速运动。
? 重现性±1μm
? 速度涟波小于1.5%
? 提供机台底座及护盖之整体解决方案
卧式高速合成材质热熔接机
采用LMX1L系列线性马达平台搭配绝对式位置编码光学尺。
?开电时无须找寻电机角
?由于高加速度,因此在分离合成材质加热板时不会有牵丝的情形
?以时间力量位置控制热熔程度
?高速换料
雷射扫描
极平滑的运动以及较长使用寿命为选用类似雷射扫描机这样的光学检测系统的重要因素。采用空气轴承方式的线性马达就可以符合这种需求。
?使用空气轴承因此没有摩擦
?完全没有顿力,因为采用LMC系列线性马达
?行程可长达1500mm
微米技术及晶圆处理
在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。
?行程200 mm x 200 mm, 亦可选购 300 mm x 300 mm
?全行程平面度±4μm
?各轴重现性±1μm
?各轴精度±4μm
高等级的晶圆质量管理、光罩制作
晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要采用空气轴承式的XY平台,以检测出极微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如电子业,芯片工业以及平面显示器业里面都采用这种方式。
?平面度±2μm
?重现性±0.5μm
?精度±1.5μm
平面马达
平面伺服马达提供了一个最佳的检测定位解决方案,比方说,印刷电路板PCB的检测,在马达可动部上装置CCD镜头拍摄板子上的印刷电路是否完整及SMD组件。
?由于使用非接触式空气轴承,几乎没有磨耗
?在整个平面上可以达到很好的平面度(最大1000mm平方)
?重现性±3μm
微细加工到大工件的加工
适用于以雷射或刀具实施之微细结构的加工,充分利用了小型龙门结构的特性,同样提供了合理价格的解决方案。
?采用运动特性平顺的LMC系列线性马达
?重现性±2μm
?经过大量实际应用的考验
合理价格的取放及检测用龙门定位系统
X Y龙门架构使得许多应用得以更低的成本来实现,以标准组件构筑而成的龙门定位平台。
? 采用LMX1L系列的定位轴
? 重现性±2μm
? 可提供含底座
超声波检测装置的X轴驱动部
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