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平面伺服马达提供了一个最佳的检测定位解决方案,比方说,印刷电路板PCB的检测,在马达可动部上装置CCD镜头拍摄板子上的印刷电路是否完整及SMD组件。
?由于使用非接触式空气轴承,几乎没有磨耗
?在整个平面上可以达到很好的平面度(最大1000mm平方)
?重现性±3μm