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晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要采用空气轴承式的XY平台，以检测出极微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如电子业，芯片工业以及平面显示器业里面都采用这种方式。
?平面度±2μm
?重现性±0.5μm
?精度±1.5μm
