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在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。
?行程200 mm x 200 mm， 亦可选购 300 mm x 300 mm
?全行程平面度±4μm
?各轴重现性±1μm
?各轴精度±4μm
?洁净室等级100适用， 亦可选购等级10
